Plasser karbon nanorør prøven på chuck av spinn coater . Plasser noen dråper motstå på prøven . Start spin - coater . En oppskrift skal brukes som leder til omtrent 1000 nm for å motstå . For motstå S1813 , bruke en oppskrift på 4000 omdreininger per sekund i 60 sekunder
to
Fjern prøven fra spin - coater når spinning har stoppet . Plasser prøven på en varm plate. Avhengig av type motstår brukt, vil den tid og temperatur kan variere. Konsultere motstå dokumentasjon for å fastslå optimal temperatur og tid på kokeplate . For S1813 motstå , bake prøven i tre minutter ved 100 grader Celsius .
3
Plasser prøven inn i masken aligner og eksponere en enkel to elektrode maske til prøven . De eksponerte deler av utvalget vil bli kjemisk endret slik at de kan fjernes ved hjelp av en kjemisk kjent som en utvikler .
4
Plasser prøven i motstå utbygger . Tiden i fremkalleren er avhengig av den enkelte motstå. Konsultere motstå og utviklerspesifikasjonerfor typiske ganger . De deler av prøven som ble eksponert blir fjernet og etterlater en mønster. Metall kan bli satt inn på dette mønster for å generere elektrodene. Plasser prøven inn i en fordamper og plasser 1 cm gulltrådi fordampning digelen . Innskudd ca 100 nm gull.
5
Plasser prøven i aceton . Aceton fjernes alle deler av resisten som ble eksponert , og etterlater en gull -mønster. Slå på multimeter og velg motstanden funksjon . Plasser ett multimeter probe på hver elektrode . Skjermen skal nå indikere motstanden mellom elektrodene. Den målte motstanden skyldes straumen mellom elektrodene ( gjennom karbon nanorør ) .